壓縮式真空計，上接根頂端封閉的毛細(xì)管，下端與“Y”形管的端口相接，“Y”形管下方接汞儲存器，使用時，將真空系統(tǒng)與“Y”形管口相接，轉(zhuǎn)動真空計，是汞壓縮氣體，再轉(zhuǎn)至垂直位置讀取“測量毛細(xì)管”與“比毛細(xì)管”的液面差，即為所測真空度。壓縮真空計優(yōu)點(diǎn)在于測量的性高，可作為真空計量的標(biāo)準(zhǔn)器。他的缺點(diǎn)是使用不夠方便，反應(yīng)緩慢，不能連續(xù)測量。由于壓縮式真空計是根據(jù)氣體定律制作的，只能測量性氣體分壓強(qiáng)，而不能測量蒸氣壓。在蒸汽分壓較大的真空系統(tǒng)中，壓縮式真空計的讀數(shù)不能標(biāo)志其真空度。
利用真空系統(tǒng)中分子數(shù)與傳導(dǎo)熱量有關(guān)的原理制成熱導(dǎo)式真空計，電阻真空計和熱偶真空計兩種。通過電流時溫度升高，周期氣體被加熱，規(guī)管管壁溫度低，依靠周圍存在的氣體分子傳導(dǎo)熱量，電阻絲溫度變化，即反應(yīng)了存在氣體分子多少。直接測量電阻絲的溫度很不方便，由于電阻絲的電阻值與溫度有關(guān)，故可用電橋測出其電阻數(shù)值。熱導(dǎo)式真空計的優(yōu)點(diǎn)是：1，可測量總壓強(qiáng)；2，能連續(xù)測量；3，使用方便，可用導(dǎo)線進(jìn)行遠(yuǎn)距離測量；4，結(jié)構(gòu)簡單，易于制造；其缺點(diǎn)是：1，有熱慣性，當(dāng)壓強(qiáng)變化很快時，反應(yīng)滯后；2，外界溫度對測量結(jié)果有定的影響；3.電阻絲表面情況改變，可造成零點(diǎn)漂移，影響讀數(shù)。
是以氣體的電離現(xiàn)象為基礎(chǔ)來測量真空度大小的，可分為熱陰電離真空計和磁控放電真空計兩類。當(dāng)在各加上定電源時，燈絲處于白熾狀態(tài)，發(fā)出熱電子。這些電子與管內(nèi)氣體分子碰撞，使氣體電離，產(chǎn)生整離子。證離子為離子收集，形成電流，隨著壓強(qiáng)的變化，電流也有變化。測量電流的大小，即可測出真空。熱陰電離真空計的優(yōu)點(diǎn)是：1，可測總壓強(qiáng)；2，可連續(xù)測量；3，測量范圍廣，靈敏度很高；4，電離計規(guī)管體積小，可直接連通要測位置；5，對機(jī)械振動不敏感，慣性小；6，校準(zhǔn)曲線是直線性；其缺點(diǎn)是：1，讀數(shù)與氣體種類有關(guān)，不同氣體要做不同曲線；2，燈絲是白熾狀態(tài)，真空系統(tǒng)突然漏氣或壓強(qiáng)突然升高，會使燈絲損壞；3，氣體被吸附在陰和收集表面，易產(chǎn)生測量誤差；4，在低壓強(qiáng)時，規(guī)管外殼與電放電現(xiàn)象影響讀數(shù)；
磁控放電真空計也是利用氣體放電原理，但在規(guī)管中沒有熱陰。規(guī)管中有兩個平行陰，兩個平行板中間有個框型電。整個規(guī)管的電部分都在磁場之中。由于外加磁場的作用和陽的框型，容易使電子穿越，造成電子在空間做來回多次的螺旋運(yùn)動。增加電離的效果，真空計的靈敏度則隨之提高。其優(yōu)點(diǎn)是：1，沒有熱陰存在，不會因漏氣而損害燈絲；2，測量總壓強(qiáng)，可連續(xù)測量；3，放電電流大，電路使用儀表簡單；4，結(jié)構(gòu)牢固，對外界不敏感；其缺點(diǎn)是：在壓強(qiáng)條件下，它的靈敏度不及熱陰電離真空計高，對不同氣體也需要不同校準(zhǔn)曲線。
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